P R O D U C T S
313nm-325nm窄线宽激光器
基于单频种子激光器、光纤激光放大以及高效率的频率转换技术，YP电子激光可以提供窄线宽的313-325nm激光器，最大输出为2W，同时具有高频率稳定度，长寿命以及优异的光束质量。
特点
- 窄线宽
- 高功率
- 优异的光束质量
- 永不跳模
应用
- 精密测量
- 晶圆量测
- 干涉曝光
主要参数
|
参数 |
|||
|
型号 |
FL-SF-X-Y-CW |
||
|
中心波长 |
313nm-325nm中心波长可定制 |
||
|
线宽(100 us 积分时间) |
<40kHz |
||
|
工作模式 |
连续激光输出 |
||
|
输出功率 |
>300mW |
>1W |
>2W |
|
光斑直径 |
1±0.15 mm |
||
|
光斑束腰位置（相对输出窗口） |
输出窗口±0.5m内 |
||
|
发散角 (全角) |
<0.6mrad |
||
|
椭圆度 |
>90% |
||
|
指向稳定性 (峰峰值) |
<50μrad@3h |
||
|
光束质量 |
TEM00，M²<1.2 |
||
|
偏振 |
线偏振, 竖直±3°, >20dB |
||
|
功率稳定性 |
<0.75% @3hours, RMS |
||
|
相对强度噪声 |
<0.2%(RMS, 10Hz-10MHz 积分) |
||
|
冷却方式 |
水冷 |
||
|
预热时间 |
|||
|
冷启动 |
<2 小时 |
||
|
热启动 |
<15 分钟 |
||
|
尺寸和重量 |
|||
|
激光控制器尺寸 |
≤483mm x 520mm x 132mm |
||
|
激光头尺寸 |
≤390mm x 310mm x 130mm |
||
|
水冷机尺寸 |
≤58cm x 29cm x 52cm |
||
|
激光头重量 |
≤18kg |
||
|
激光控制器重量 |
≤20kg |
||
|
水冷机重量 |
≤25kg |
||
|
激光头和控制器之间的线缆长度 |
不可拆卸光纤长度>1.5m |
||
|
使用环境和供电功耗 |
|||
|
工作温度（无凝露条件下） |
15-35 ℃（水冷） |
||
|
供电 |
100V-240V, AC, 50/60Hz |
||
|
功耗 |
<170W |
<200W |
<240W |
|
通信 |
RS422 |
||
更高功率，更多波长，可定制方案
